半导体微纳加工中试平台：从“新”到“芯”

从1到100，“新技术”究竟如何转化为“芯产品”？

当“半导体”和“中试”两个产业相遇，又会擦出怎样的火花呢？

“晶圆加工、氧化、光刻、检测……”坐落在南海狮山的广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）的半导体微纳加工中试平台内，一批技术人员正在设备前操作，通过中试将新产品转变为可小批量生产的“芯产品”。

工作人员正在进行设备调试。企业供图

所谓“中试”，就是把处在试制阶段的新产品，转化到批量生产的试生产阶段，也被称为科技成果转化的“最后一公里”。而中试平台的诞生，无疑给半导体产业发展提供了“充足的燃料和助推器”。

作为国家重点鼓励发展的战略性新兴产业，半导体产业一直以来备受关注，但由于培育周期长、制造产线前期投入大、硬件配套设施要求严苛等众多难点，导致产业发展受到诸多限制。

半导体产业链大致可划分为上游芯片设计、中游芯片制造、下游封装测试三部分。其中，芯片制造这一核心环节，对生产工艺和制造设备精度的要求极高，固定资产投资巨大，这也成为了中小微企业搭建产品中试线的“拦路虎”。

“半导体产线运营其实就像一个大心脏，需要健全的配套设施支撑才能运转，像平台一期硬件建设就需投入约8亿元。”广东微纳院常务副院长王辉介绍，目前平台已打通MEMS传感器芯片制造中试线，建有2.3万㎡洁净实验室，配备了先进的光刻、镀膜、刻蚀等各类工艺设备及晶圆加工、检测设备；另外特种气体、双回路高保障用电、酸碱废水、废气处理等外围配套设施也已完善。

半导体微纳加工中试平台灰区辅助设备。

“这个应该是华南地区最大、配套最完善的一个实验型超净平台。像南海的绿展科技，就借助平台进行了产品技术转化，形成的指纹锁、电子面膜等一系列产品已投入市场化运作。”王辉说。

平台之所以能成为佛山首批获授牌的中试平台之一，除了健全的设备和完善的配套设施外，更注重“服务”二字。

目前，传统的芯片代工企业，多服务于具有大批量生产需求的客户，难以为单个、或小批量加工产品的初创企业提供服务。

而半导体微纳加工平台恰恰是为初创企业解决了这一痛点。

除了最基础的委托加工外，平台还能提供联合研发、封装测试、产线共建、人才培养、超净场地等全流程服务。其中，在晶圆加工方面，可为单个产品、或芯片单步工艺进行技术服务。

在超净场地方面，则预留了一部分超净场地给企业入驻，让企业在组建生产线的过程中，只需购置少量专属设备以满足芯片个性化生产需求，其余通用性的设备、超净场地、场务团队以及水电气等各种配套设施均由平台提供，真正实现“轻资产”运营。

入驻企业人员正在进行芯片刻蚀工艺。

“像现在洽谈的一家生产红外激光芯片产品的深圳企业——柠檬光子，就是在建产线过程中遇到了环评资质的问题。无论是资质还是设备，平台均已配备，企业可以直接‘拎包入住’。”王辉说。

截至目前，在市、区、镇各级政府的支持下，平台已孵化引进40余家企业，累计为超百家国内院校、企业提供专业化中试服务。

佛山是全国重要的制造业基地，装备制造、泛家居等产业优势明显，电子信息、机器人、新能源等新兴产业快速发展；这些产业的快速发展为半导体中试产业提供了广阔的市场需求和应用场景。

半导体微纳加工中试平台的黄光区内，技术人员正在对晶圆进行光刻。企业供图

展望未来，王辉希望能不断提升平台专业软硬件条件，来支撑初创企业“轻资产、低门槛”前期发展，加快形成半导体产业集聚。

王辉表示，接下来，广东微纳院将加快推动平台二期建设，建成超3万平米半导体洁净载体，预计明年年中投入使用；并通过“南芯一期”半导体产业投资基金，逐步打造‘中试平台+联合研发+专业基金+专业载体+品牌活动’的半导体产业生态圈。