喜报！广东微纳院半导体微纳加工中试平台获授牌

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6月14日，佛山市召开中试产业高质量发展大会，促进中试与创新链、产业链同步发展，让更多科技成果从“试验场”走向“大市场”。会上解读了《关于加快发展中试产业的意见》，发布了《佛山市中试产业服务联盟倡议书》，并为5家概念验证中心、20家中试平台进行首批授牌，签约6个中试项目。

现场，广东微纳院分享中试平台建设经验，“半导体微纳加工中试平台”获授牌，并与广东迈能欣科技有限公司进行中试项目合作签约。

图 佛山首批中试平台授牌仪式

广东微纳院常务副院长王辉介绍，研究院聚焦芯片制造核心环节，从强化中试平台软硬件配套设施、重视中试服务链延伸、构建半导体产业生态等方面着手，通过“半导体中试验证+产业孵化育成”的运营模式，建设国内有影响力的半导体工程化创新平台及产业培育基地。

图 广东微纳院与迈能欣科技进行中试合作签约

广东微纳院半导体微纳加工中试平台针对光电子器件、功率器件、MEMS器件、微显示类芯片等多种半导体分立器件，提供专业的中试流片、技术咨询服务。此外，还根据企业需求，提供产线共建、联合开发、人才培养、超净场地等多元化服务，配套高保障供电系统、纯水站、特气站、废水与废气处理系统等半导体芯片制造必需的硬件支撑条件和运行资质，助力半导体初创企业“轻资产、低门槛”发展。

广东迈能欣科技有限公司总经理谷文表示，感谢佛山市“建设先进的中试平台、促进中试与创新链、产业链同步发展”这一顶层设计，让我们有效规避了重资产投入和各类试错成本，为企业成长提供重要支持。迈能欣科技面向新能源传感器领域卡脖子问题，聚焦MEMS芯片和纳米材料领域进行核心技术突破，通过中试平台推动MEMS传感芯片产业化落地，完成国产化替代。